净化车间工程技术特点:
一是吊顶设计。不能使用普通的封闭式---,要采用便于清洁、无浸出物排水性能好的材料;二是洁净墙面。采用耐酸碱腐蚀,不产生静电的无菌材料并作密封处理。三是洁净地面。采用不产生静电,耐磨耐腐蚀,无菌的材料;四是洁净空调系统。必须符合或行业规范,实现恒温恒湿气流循环,减少直接污染。
无尘室操作时的一般规定:
1.处理芯片时,必须戴上无纤维手套,使用清洗过的干净镊子挟持芯片,请勿以手指或其它任何东西接触芯片,遭碰触污染过的芯片须经清洗,方得继续使用:
(1)任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,实验室净化,或是镊子掉落地上,潮州实验室净化,必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。
(2)芯片清洗后进行下一程序前,实验室净化施工,若被手指碰触过,必须重新清洗。
(3)把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新清洗,并立即更换干净的镊子使用。
2.芯片必须放置盒中,盖起来存放于规定位置,尽可能不让它暴露。
3.避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请---注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮------喷之。
4.从铁弗龙(teflon)晶舟,石英舟(quartzboat)等载具(carrier)上,取出芯片时,实验室净化设计,必须垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。
净化车间中的气压要求?
净化车间中的气压要求:针对绝大多数净化车间,为了---地避免外部环境污染,必须维持內部的工作压力(负压)高过外界的工作压力(负压)。压差的保持一般应合乎下列标准:1、清洁室内空间的工作压力要高过非清洁室内空间的工作压力。
2、洁净度等级等级高的室内空间的工作压力要高过邻近的洁净度等级等级低的室内空间的工作压力。
3、互通净化室中间的门要开向洁净度等级等级高的屋子。
净化车间的工作压力要高过非净化车间的工作压力。洁净度等级等级高的室内空间的工作压力要高过邻近的洁净度等级别低的室内空间的工作压力。压差的保持借助排风量,这一排风量要能赔偿在这里一压差下从间隙漏泄掉的排风量。因此 压差的物理意义便是漏泄排风量根据净化室的各种各样间隙时的摩擦阻力。
压差的保持借助排风量,这一排风量要能赔偿在这里一压差下从间隙漏泄掉的排风量。因此 压差的物理意义便是漏泄(或渗入)排风量根据净化室的各种各样间隙时的摩擦阻力。压差的保持借助排风量,这一排风量要能赔偿在这里一压差下从间隙漏泄掉的排风量。因此 压差的物理意义便是漏泄(或渗入)排风量根据净化室的各种各样间隙时的摩擦阻力。
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